Končni efektor iz aluminijevega oksida, antistatični keramični
Kratek opis:
Keramika se lahko zaradi visoke temperaturne odpornosti, korozijske odpornosti, odpornosti proti obrabi in izolacije dolgo časa uporablja v številnih vrstah opreme za proizvodnjo polprevodnikov v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.