Teflonsko prevlečen keramični končni efektor – nelepljiva površina za občutljivo ravnanje z rezinami
Keramični končni efektor St.Cera s teflonsko (PTFE) prevleko združuje visoko trdno aluminijevo podlago z enakomerno prevleko iz PTFE z nizkim trenjem (debelina 15–30 μm). Premaz zagotavlja izjemno nizek koeficient trenja (≤0,1), odlično kemično odpornost in nelepljive lastnosti, kar preprečuje oprijem rezin in odpravlja kontaminacijo hrbtne strani. Osnovni keramični substrat (99,8 % Al₂O₃) ponuja visoko upogibno trdnost (361–1000 MPa), odpornost proti obrabi in toplotno stabilnost do 260 °C (mejna vrednost prevleke). Ta končni efektor je idealen za ravnanje z občutljivimi, tankimi ali lepljivimi rezinami (npr. po fotorezistni prevleki ali kemičnih postopkih).
Specifikacije (na podlagi substrata z 99,8 % Al₂O₃ in prevleko iz PTFE):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material podlage | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Premazni material | PTFE (teflon) |
| Debelina premaza | 15–30 μm |
| Koeficient trenja (prevlečen) | ≤0,1 |
| Upogibna trdnost podlage (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Trdota podlage (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Gostota substrata | 3,93 g/cm³ |
| Najvišja delovna temperatura (omejitev premaza) | 260 °C |
| Hrapavost površine (pred nanosom premaza) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrična trdnost (podlaga) | 15×10⁶ V/m |
Opomba: PTFE premaz omejuje najvišjo temperaturo na 260 °C; za uporabo pri višjih temperaturah razmislite o neprevlečeni keramiki ali drugih premazih.
Uporaba:
- · Ravnanje z rezinami po nanosu fotorezistnega premaza (lepljive površine)
- · Prenos tankih ali krhkih rezin (preprečuje lepljenje)
- · Orodja za pregled in metrologijo polprevodnikov
- · Avtomatizacija čistih prostorov, kjer je treba čim bolj zmanjšati kontaminacijo z delci
Proizvodni proces:
Sintrana in natančno brušena keramična podlaga → hrapava površina (plazemsko jedkanje ali peskanje) → PTFE brizgalni premaz → toplotno utrjevanje pri 380 °C → končni pregled. Vsak končni efektor se preveri glede debeline premaza (vrtinčni tok), oprijema (preskus s prečnim rezom ASTM D3359) in koeficienta trenja.
Nadzor kakovosti:
100-odstotni vizualni pregled za luknjice ali mehurčke; enakomernost debeline prevleke znotraj ±5 μm; brez delaminacije po preizkusu upogibanja pod kotom 90° na kuponu za pričevanje. Preverjanje dimenzij v skladu s toleranco proizvajalca originalne opreme (dolžina ±0,05 mm, ravnost ≤0,1 mm).
Prednosti pred neprevlečenimi ali drugimi premazi:
- · Nelepljiva površina preprečuje oprijem in lomljenje rezin
- · Najnižji koeficient trenja med keramičnimi premazi
- · Odlična kemična odpornost (kisline, baze, topila)
- · Zmanjša nastajanje delcev s preprečevanjem prenosa materiala
Omejitve (opombe glede odstopanja materiala):
PTFE prevleka ni izpeljana iz priloženih tabel lastnosti materialov (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Lastnosti substrata so strogo v skladu s priloženim podatkovnim listom (99,8 % Al₂O₃). Lastnosti prevleke temeljijo na industrijskih standardnih specifikacijah PTFE, saj podatki o prevleki niso bili navedeni. Za aplikacije, ki presegajo 260 °C, je priporočljiv neprevlečen keramični končni efektor.*
Prilagoditev:
Na voljo v dolžinah 150–1500 mm, oblikah konic (robni oprijem, Bernoulli, ploščat), vzorcih pritrdilnih prirobnic po risbi proizvajalca originalne opreme. Delni premaz (samo kontaktne površine) ali popolna prevleka je opcijska.
Zahtevajte vzorec za testiranje adhezije in trenja.
