Izolacijski obroč iz aluminijevega oksida PVD za sisteme fizikalnega nanašanja s paro
Izolacijski obroč St.Cera s PVD tehnologijo je izdelan iz 99,8-odstotnega aluminijevega oksida visoke čistosti (Al₂O₃) za uporabo v sistemih za fizično nanašanje s paro (PVD). Obroč zagotavlja električno izolacijo med komponentami komore, preprečuje iskrenje in zagotavlja stabilno delovanje plazme. Ključne lastnosti vključujejo visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m), specifično upornost >10¹⁴ Ω·mm²/m in toplotno stabilnost do 1600 °C. Naše zmogljivosti natančne obdelave dosegajo zunanje premere do 600 mm, notranje premere do 0,2 mm, ravnost 0,003 mm in površinsko obdelavo Ra0,1. Ničelna poroznost in kemična inertnost obroča zagotavljata dolgoročno zanesljivost v agresivnih okoljih razprševanja.
Specifikacije (na podlagi 99,8 % Al₂O₃& proizvodne zmogljivosti St.Cera):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
| Specifična odpornost | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Največji zunanji premer | 600 mm |
| Min. notranji premer | 0,2 mm |
| Največja debelina | 100 mm |
| Ploskost | 0,003 mm |
| Vzporednost | 0,002 mm |
| Površinska obdelava | Ra0,1 |
| Najvišja delovna temperatura | 1600 °C |
Uporaba:
- · Izolatorji iz tarčnih plošč v PVD sistemih
- · Prehodni izolatorji komore
- · Zaščitni obročasti izolatorji v sistemih za razprševanje
- · Visokonapetostna izolacija v plazemskih komorah
Natančnost izdelave:
Koncentričnost: 0,01 mm, okroglost: 0,002 mm, premočrtnost: 0,005 mm, pravokotnost: 0,005 mm, preverjeno s CMM.
APrednosti pred polimernimi izolatorji:
- · Prenese 1600 °C v primerjavi z omejitvijo polimera <300 °C
- · Brez odplinjevanja – ohranja integriteto vakuuma
- · Odporna na plazemsko erozijo in kemične napade
Prilagoditev:
Na voljo so prerezi po meri, montažne funkcije, stopničasti profili in več koncentričnih obročnih izvedb.
