Keramični rezervni deli za opremo polprevodniških sond
Kratek opis:
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.