Keramična plošča iz aluminijevega oksida velikega formata za polprevodniške in industrijske napeljave
St.Cera izdeluje keramične plošče velikega formata iz 99,8-odstotnega visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) z največjimi dimenzijami do 1500 mm v dolžino in 600 mm v širino. Naše zmogljivosti natančnega brušenja dosegajo ravnost 0,003 mm na 100 mm in vzporednost 0,002 mm, kar zagotavlja dosledno kakovost površine za aplikacije na velikih površinah. Debelina do 100 mm, površinska obdelava do Ra0,1. Te plošče služijo kot podstavki vakuumskih vpenjalnih klešč, grelne plošče, električne izolacijske plošče in tla procesnih komor pri proizvodnji polprevodnikov, zaslonov in fotovoltaike. Na voljo so skoznje luknje, ugrezi in profiliranje robov.
Specifikacije (na podlagi 99,8 % Al₂O₃& proizvodne zmogljivosti St.Cera):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
| Največja dolžina | 1500 mm |
| Največja širina | 600 mm |
| Največja debelina | 100 mm |
| Ravnost (na 100 mm) | 0,003 mm |
| Vzporednost | 0,002 mm |
| Površinska obdelava | Ra0,1 (polirano/lepljeno) |
| Najvišja delovna temperatura | 1600 °C |
Uporaba:
- · Vakuumsko vpenjalne osnovne plošče za velike rezine in plošče
- · Grelne plošče za opremo za termično obdelavo
- · Električne izolacijske plošče v visokonapetostnih sistemih
- · Tla in obloge procesnih komor
Natančnost izdelave:
Premost: 0,005 mm, pravokotnost: 0,005 mm, preverjeno z laserskim interferometrom.
Prednosti pred kovinskimi ploščami:
- · Brez kovinske kontaminacije – ključnega pomena za polprevodniške procese
- · Brez odplinjevanja – idealno za vakuumska okolja
- · Odlična odpornost proti obrabi in kemikalijam
Prilagoditev:
Na voljo so vzorci lukenj po meri, profili robov, stopničaste površine in metalizirana montažna območja.
