-
ST.CERA Polprevodniška oprema po meri Keramične vpenjalne glave
Kritični procesi na področju polprevodnikov morajo potekati v čistih prostorih, zlasti za naprave, ki se uporabljajo v pogojih visoke temperature, vakuuma in korozivnih plinov. Keramika lahko ohrani visoko stabilnost v kompleksnem fizikalnem in kemijskem okolju.
-
ST.CERA Polprevodniška oprema po meri Keramična plošča
Kritični procesi na področju polprevodnikov morajo potekati v čistih prostorih, zlasti za naprave, ki se uporabljajo v pogojih visoke temperature, vakuuma in korozivnih plinov. Keramika lahko ohrani visoko stabilnost v kompleksnem fizikalnem in kemijskem okolju.
-
ST.CERA Prilagojen polprevodniški keramični fokusni obroč
Kritični procesi na področju polprevodnikov morajo potekati v čistih prostorih, zlasti za naprave, ki se uporabljajo v pogojih visoke temperature, vakuuma in korozivnih plinov. Keramika lahko ohrani visoko stabilnost v kompleksnem fizikalnem in kemijskem okolju.
-
ST.CERA Prilagojena 99,5 % aluminijevega oksida keramična nakladalna roka
Keramični končni efektor/ročica za rokovanje je nameščen na robotu za rokovanje z rezinami ali "končnih efektorjih" in se uporablja za prenašanje silicijevih rezin v kasete ali procesne komore ali iz njih.
Prednosti uporabe keramike so zmanjšanje upogiba zaradi visoke upogibne trdnosti, odpornost na visoke temperature in odprava kovinske kontaminacije in delcev. -
ST.CERA Prilagojen končni efektor iz aluminijevega oksida
ST.CERA ponuja ESD premaz in ESD keramični material. Končni efektor je izdelan iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1 in temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojen polprevodniški keramični fokusni obroč
Keramični rezervni deli so izdelani iz visoko čiste (nad 99,5 %) aluminijeve keramike, oblikovane s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrane pri visoki temperaturi, nato pa natančno obdelani in polirani, zato lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije.
Keramika se lahko zaradi visoke temperaturne odpornosti, korozijske odpornosti, odpornosti proti obrabi in izolacije dolgo časa uporablja v številnih vrstah opreme za proizvodnjo polprevodnikov v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojena polprevodniška precizna aluminijeva keramična puša
Keramični rezervni deli so izdelani iz visoko čiste (nad 99,5 %) aluminijeve keramike, oblikovane s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrane pri visoki temperaturi, nato pa natančno obdelani in polirani, zato lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije.
Keramika se lahko zaradi visoke temperaturne odpornosti, korozijske odpornosti, odpornosti proti obrabi in izolacije dolgo časa uporablja v številnih vrstah opreme za proizvodnjo polprevodnikov v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojen vakuumski končni efektor iz aluminijevega oksida
To je keramični končni efektor/ročica za rokovanje v obliki pladnja, ki se uporablja v vakuumskih pogojih.
Keramični končni efektor/ročica za rokovanje je v primerjavi s kovinskimi "bolj odporna na vročino", "manj upogibna" in "lažja".
Keramika se lahko zaradi visoke temperaturne odpornosti, korozijske odpornosti, odpornosti proti obrabi in izolacije dolgo časa uporablja v številnih vrstah opreme za proizvodnjo polprevodnikov v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojene keramične cevi in keramične palice iz 99,5 % aluminijevega oksida
Keramika se lahko zaradi visoke temperaturne odpornosti, korozijske odpornosti, odpornosti proti obrabi in izolacije dolgo časa uporablja v številnih vrstah opreme za proizvodnjo polprevodnikov v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojeno aluminijevo keramično končno efektorsko rezino za ravnanje z rezinami
ST.CERA ponuja končne efektorje/ročice za rokovanje z ESD prevleko in ESD keramičnim materialom z vgrajenim votlim kanalom. Specializirani smo za tehniko, ki v enem kosu materiala brez uporabe lepila tvori vakuumski zračni kanal.
Ni nevarnosti onesnaženja, sproščanja plinov ali delcev. Vakuumski končni efektor/ročica za rokovanje ST.CERA s posebno tehnologijo prevleke je električno izolirana. Ponujamo lahko tudi keramični material ESD, ki je električno izoliran brez kakršne koli prevleke.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃. -
Komponente polprevodniške opreme iz aluminijevega keramičnega končnega efektorja
Preprečite delce, ki se lahko pojavijo na poševnih ali nagnjenih robovih in zadnji površini med transportom rezin ali stikom s končnim efektorjem/roko za rokovanje.
Za vodila je bil uporabljen mehak material, ki ne poškoduje rezine.
Redčenje je možno z vgrajeno tehnologijo vakuumskih kanalov ST.CERA, ki ne uporablja lepil.
Možno je narediti pritrdilne luknje in spremeniti dolžino in širino podnožja, kjer je končni efektor/ročica za upravljanje nameščena na robotu.
Montaža senzorjev, vijakov in nosilcev je na voljo kot dodatna oprema.
Zasnovan za uporabo v atmosferi.
-
Prilagojena CNC obdelava keramičnega končnega efektorja St.Cera
ST.CERA ponuja vakuumski keramični končni efektor/roko za rokovanje z vgrajenim votlim kanalom. Specializirani smo za tehniko, ki tvori vakuumski zračni kanal znotraj enega samega kosa materiala brez uporabe lepila.
Ni nevarnosti onesnaženja, sproščanja plinov ali delcev. Vakuumski končni efektor/ročica za rokovanje ST.CERA z vgrajenim kanalom je trpežna in se lahko uporablja pri visokih temperaturah. Poleg tega lahko naše proizvodne stroške zmanjšamo z odpravo nepotrebne montaže.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
