12-palčna vakuumska vpenjalna glava iz aluminijevega oksida za obdelavo 300 mm rezin
12-palčna vakuumska vpenjalna glava St.Cera je natančno izdelana iz 99,8-odstotnega visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) za rokovanje s 300 mm rezinami. Vpenjalna glava ima fino rebrasto površino (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm), ki zagotavlja enakomerno porazdelitev vakuuma po celotnem premeru 300 mm. Ravnost se ohranja znotraj 5 μm, kar omogoča pritrditev rezin brez upogibanja med rezanjem, brušenjem zadnje strani in pregledovanjem. Visoka upogibna trdnost (361 MPa) in trdota (16 GPa) materiala zagotavljata dolgoročno dimenzijsko stabilnost tudi pri ponavljajočih se vakuumskih ciklih.
Specifikacije (na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Premer | 300 mm (12 palcev) |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Ploskost (nad 300 mm) | ≤5 μm |
| Širina utora | 0,5–1,0 mm |
| Najvišja delovna temperatura | 800 °C |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
Uporaba:
Rezanje in graviranje rezin 300 mm
Brušenje hrbtne strani rezin (tanka podpora rezin)
Optični pregled in sondiranje
Začasne vpenjalne glave za lepljenje/odlepljanje
Proizvodnja:
CNC brušeno in lepano do končne ravnosti, utorjeno z diamantnimi koluti, ultrazvočno očiščeno in pakirano v čisti sobi razreda 100. Vsaka vpenjalna glava je 100-odstotno pregledana glede ravnosti (laserski interferometer) in globine utorov (profilometer).
Prednosti:
Nizka stopnja nastajanja delcev (≤0,05 delcev/cm²)
Kemično inerten do topil in kislin
Površina, varna pred elektrostatično razelektritvijo (upornost > 10¹³ Ω·cm)
Na voljo so vzorci vakuumskih odprtin in priključki na zadnji strani po meri.
