Visoko čist keramični obroč iz aluminijevega oksida po meri za proizvajalce in dobavitelje procesnih komor CVD/PVD

Visoko čist keramični obroč iz aluminijevega oksida za procesne komore CVD/PVD

Kratek opis:

Keramični obroč St.Cera je posebej zasnovan za uporabo v procesnih komorah CVD (kemično nanašanje iz pare) in PVD (fizično nanašanje iz pare). Izdelan je iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) in služi kot obloga komore, fokusni obroč ali komponenta procesnega kompleta za omejevanje plazme in zaščito sten komore pred erozijo. Material ponuja odlično odpornost na plazmo, visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m) in toplotno stabilnost do 1600 °C, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo v agresivnih plazemskih okoljih na osnovi fluora. Natančne dimenzijske tolerance (±0,05 mm na notranjem/zunanjem premeru) in ravnost (≤10 μm) omogočajo dosledno pozicioniranje robov rezine, kar izboljšuje enakomernost nanašanja in zmanjšuje nastajanje delcev.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Specifikacije (na podlagi 99,8 % Al₂O₃):

Nepremičnina	Vrednost
Material	99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva)
Gostota	3,93 g/cm³
Absorpcija vode	0%
Upogibna trdnost	361 MPa
Zlomna žilavost	3–4 MPa·m¹/²
Trdota po Vickersu	16 GPa
Youngov modul	380 GPa
Toplotna prevodnost	32 W/m·k
Toplotni raztezek (25–1000 °C)	7,2 × 10⁻⁶/℃
Dielektrična trdnost	15×10⁶ V/m
Specifična odpornost	>10¹⁴ Ω·cm
Najvišja delovna temperatura	1600 °C

Uporaba:

· Fokusni obroči in robni obroči CVD komore
· PVD zaščitni obroči in vpenjalni obroči komore
· Obloge in pokrivni obroči jedkalne komore
· Plazemski omejitveni obroči v dielektričnih jedkalnih sistemih

Proizvodni proces:

Izostatično stiskanje → zelena obdelava → sintranje pri 1600 °C → CNC brušenje notranje/zunanje premerov → površinsko lepanje → ultrazvočno čiščenje → 100 % pregled s koordinatnim merilnim strojem (CMM). Ultra gladka površinska obdelava (Ra ≤ 0,4 μm) zmanjšuje oprijem delcev.

Nadzor kakovosti:

· 100% dimenzijska kontrola (notranji premer, zunanji premer, debelina, ravnost)
· Pregled površinskih mikrorazpok s penetrantom
· Preskus dielektrične trdnosti po ASTM D149
· Brez vidne razbarvanja ali poroznosti pod 20× mikroskopom

Prednosti pred kovinskimi ali kremenčevimi obroči:

· 5–10× daljša življenjska doba kot aluminijevi obroči v fluorovi plazmi
· Brez kovinske kontaminacije v tankih filmih
· Višja plazemska odpornost kot kremen (brez erozijskih jamic)
· Ohranja električno izolacijo >10¹⁴ Ω·cm tudi po dolgotrajni uporabi

Alternativni material — silicijev nitrid (Si₃N₄):

Za aplikacije, ki zahtevajo še večjo žilavost (6,2 MPa·m¹/²) in boljšo odpornost proti toplotnim udarcem (koeficient raztezanja 3,2×10⁻⁶/℃), so na voljo obroči Si₃N₄. Vendar pa je aluminijev oksid stroškovno učinkovitejši za večino aplikacij CVD/PVD. Pri naročilu navedite želeni material.

Prilagoditev: