Visoko čista aluminijeva keramična jedra za polprevodniške napeljave
Keramično jedro iz aluminijevega oksida podjetja St.Cera je natančno oblikovano iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃, ki ponuja izjemno dielektrično trdnost (15 × 10⁶ V/m), toplotno stabilnost do 1600 °C in odpornost proti lezenju pod obremenitvijo. Ta jedra se uporabljajo kot strukturne komponente v visokotemperaturnih procesnih armaturah, podstavkih grelnikov, oblogah plazemskih komor in električnih izolatorjih. Visoka trdota materiala (16 GPa) in nizka absorpcija vode (0 %) zagotavljata dolgoročno zanesljivost v zahtevnih okoljih.
Specifikacije(na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Zlomna žilavost | 3–4 MPa·m¹/² |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotna prevodnost | 32 W/m·k |
| Toplotni raztezek (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
| Specifična odpornost | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Najvišja delovna temperatura | 1600 °C |
Uporaba:
- · Grelno jedro za epitaksialne reaktorje
- · Obloga in pokrivne plošče plazemske komore
- · Visokonapetostni električni izolatorji
- · Vpenjalna osnova za robote za ravnanje z rezinami
Proizvodnja:
Izostatično stiskanje → zelena obdelava → sintranje pri 1600 °C → CNC brušenje do končnih dimenzij (toleranca ±0,01 mm). Vsako jedro je pregledano s CMM in ultrazvočnim odkrivanjem napak.
Zagotavljanje kakovosti:
Certificirano po ISO 9001:2015. Preizkus površinskih razpok s penetrantom; preskus dielektrične trdnosti po ASTM D149.
APrednosti pred drugimi vrstami keramike:
- · Višja dielektrična trdnost kot cirkonijev dioksid (15 v primerjavi z <10×10⁶ V/m)
- · Nižji stroški kot SiC za aplikacije, ki niso iz plazme
- · Odlična kemična odpornost na halogene (razen HF)
Oblike po meri:
Valji, kvadratne palice, plošče ali kompleksne geometrije. Najmanjša velikost elementa 0,5 mm.
Za zasnove jeder po meri in podporo pri toplotnih simulacijah nas kontaktirajte.
