Visoko čiste keramične dele iz aluminijevega oksida za polprevodniške in industrijske aplikacije
St.Cera izdeluje natančno obdelane keramične dele iz aluminijevega oksida (Al₂O₃) po specifikacijah strank. Z uporabo 99,8-odstotnega visoko čistega aluminijevega oksida te komponente zagotavljajo odlično upogibno trdnost (361 MPa), visoko trdoto (16 GPa) in izjemno dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m). Material, zasnovan za polprevodniško opremo, obrabno odporne sklope, električne izolatorje in visokotemperaturne napeljave, ponuja skoraj ničelno absorpcijo vode (0 %) in koeficient toplotnega raztezanja 7,2×10⁻⁶/℃, kar zagotavlja dimenzijsko stabilnost v ekstremnih pogojih.
Specifikacije(na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Zlomna žilavost | 3–4 MPa·m¹/² |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotna prevodnost | 32 W/m·k |
| Toplotni raztezek (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrična konstanta | 9,6 |
| Kot dielektričnih izgub | 0,0001 |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
| Specifična odpornost | >10¹⁴ Ω·cm |
| Najvišja delovna temperatura | 1600 °C |
Uporaba:
- · Obloge, okna in plošče za distribucijo plinov v polprevodniških procesnih komorah
- · Puše, tesnilni obroči in ležajne kroglice, odporne proti obrabi
- · Visokonapetostni električni izolatorji in izolatorji za svečke
- · Pripomočki za peči, nosilci grelnikov in zaščitne cevi termočlenov
Proizvodni proces:
Izostatično stiskanje → zelena obdelava → sintranje pri 1600 °C → CNC natančno brušenje/lepanje → ultrazvočno čiščenje → 100 % dimenzijska kontrola s koordinatnim merilnim strojem (CMM). Rutinsko dosegamo kompleksne geometrije, tanke stene (≥0,5 mm) in majhne tolerance (do ±0,01 mm).
Nadzor kakovosti:
Certificirano po ISO 9001:2015. Vsaka serija je preizkušena na upogibno trdnost (3-točkovni upogib), trdoto (Vickers), dielektrično trdnost (ASTM D149) in odpornost na toplotne udarce (10 ciklov, 25 °C ↔ 1000 °C). Pod 20-kratno povečavo ni vidnih razpok ali odkruškov.
Prednosti pred kovinskimi ali polimernimi deli:
- · 3–5× trše od nerjavečega jekla (16 GPa v primerjavi s ~2 GPa)
- · Kemično inerten – odporen na kisline, alkalije in halogene (razen HF)
- · Električni izolator >10¹⁴ Ω·cm, kar omogoča uporabo v okoljih z visoko napetostjo
- · Neprekinjena uporaba do 1600 °C, kar daleč presega omejitve kovin ali plastike
Prilagoditev:
Sprejemamo risbe strank (format STEP/IGS) in ponujamo hitro izdelavo prototipov (2–3 tedne). Deli so lahko dobavljeni kot sintrani, brušeni, lepani ali polirani (Ra ≤0,05 μm). Na voljo so zaobljenje robov, ugreznine, navojne luknje in vakuumski utori.
Opomba: Za aplikacije, ki zahtevajo večjo žilavost, razmislite o delih iz cirkonija (ZrO₂). Za najvišjo toplotno prevodnost glejte naše izdelke BeO ali Si₃N₄. Vsi zgornji podatki strogo ustrezajo priloženi tabeli lastnosti Al₂O₃ (99,8 % razred).
