Standardna vakuumska vpenjalna glava na osnovi aluminijevega oksida – visoka togost za natančno obdelavo
Ta vakuumska vpenjalna glava na osnovi aluminijevega oksida je izdelana iz 99,8 % Al₂O₃, kar ponuja gladko neporozno površino s prilagojenimi vzorci vakuumskih utorov. Zagotavlja izjemno togost (Youngov modul 380 GPa) in ravnost (≤3 μm), zaradi česar je idealna za natančno brušenje, lepanje in rezanje polprevodniških rezin in optičnih komponent. Visoka toplotna prevodnost materiala (32 W/m·k) zagotavlja enakomernost temperature med obdelavo.
Specifikacije(na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotna prevodnost | 32 W/m·k |
| Ploskost | ≤3 μm (nad 200 mm) |
| Hrapavost površine (stran vpenjalne glave) | Ra ≤0,4 μm |
| Najvišja delovna temperatura | 800 °C |
Uporaba:
- · Brušenje hrbtne strani rezin (grobo in fino)
- · Precizno rezanje krhkih materialov
- · Lepljenje keramičnih podlag
- · Poliranje optičnih leč
Proizvodnja:
Natančno lepanje obeh strani → diamantno žlebljenje (neobvezno) → zaokroževanje robov → ultrazvočno čiščenje → 100-odstotna kontrola ravnosti z laserskim interferometrom.
Aprednosti:
- · Toga opora zmanjšuje upogib pod obremenitvijo
- · Brez nastajanja delcev iz porozne strukture
- · Enostavno čiščenje (združljivo z brisanjem s topili)
- · Prilagodljivi vakuumski utori (koncentrični, radialni, vzorci po meri)
Razpoložljive velikosti:
Okrogli: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; kvadratni/pravokotni na zahtevo.
Ponujamo tudi različice na kovinski osnovi za večjo mehansko trdnost.
