Keramični podporni zatič za polprevodniške procesne armature
Keramični podporni zatiči St.Cera (znani tudi kot dvižni zatiči ali podporni zatiči) se uporabljajo v polprevodniških procesnih komorah za dvigovanje rezin ali substratov med rokovanjem, segrevanjem ali hlajenjem. Ti zatiči, izdelani iz 99,8-odstotnega aluminijevega oksida ali silicijevega nitrida, ponujajo visoko tlačno trdnost, toplotno stabilnost in kemično odpornost. Polkrogelna ali ravna zasnova konice preprečuje praskanje rezin.
Specifikacije(Aluminijev oksid 99,8 %):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % Al₂O₃ ali Si₃N₄ |
| Dolžina | 10–100 mm |
| Premer | 1 – 10 mm |
| Oblika konice | Ploščata, polkrožna, koničasta |
| Tlačna trdnost (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Najvišja delovna temperatura (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Površinska obdelava | Lepljeno (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleranca premera | ±0,01 mm |
Uporaba:
Dvižni zatiči v komorah CVD/PVD
Podporni zatiči za peko na vroči plošči
Nosilne strukture za kartice sond
Nosilci za čolne iz kremenčeve peči
Proizvodnja:
Precizno brezcentrično brušenje zunanjega premera → diamantno brušenje profila konice → ultrazvočno čiščenje → 100 % dimenzijska kontrola.
Nadzor kakovosti:
Koordinatni merilni stroj za dolžino/premer, optični primerjalnik za polmer konice, obremenitveni preizkus za preverjanje tlačne trdnosti (naključni vzorec na serijo). Brez feromagnetne kontaminacije (preverjeno z magnetom).
Prednosti pred kovinskimi ali kremenčevimi zatiči:
5-krat daljša življenjska doba kot nerjaveče jeklo
Brez kovinske kontaminacije v procesni komori
Višja temperaturna zmogljivost kot kremen (1600 °C v primerjavi z 1100 °C)
Nelepljiva površina (zmanjšana adhezija delcev)
Prilagoditev:
Več profilov konic, navojna osnova ali stožčasto steblo.
Dobavljamo tudi SiC zatiče za ekstremna plazemska okolja.
