Razdelilna plošča iz aluminijevega oksida za tuš CVD/PVD
Plošča za distribucijo plina (pršna glava) podjetja St.Cera je natančno izdelana iz visoko čiste 99,8-odstotne aluminijeve keramike. Ima vrsto mikro lukenj (premerov 0,3–1,5 mm), ki zagotavljajo enakomeren pretok plina po površini rezine med postopki CVD, PVD ali ALD. Visoka dielektrična trdnost plošče (>15×10⁶ V/m) in plazemska odpornost jo naredita bistvenega pomena za nanašanje tankih polprevodniških filmov.
Specifikacije:
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % Al₂O₃ ali SiC |
| Premer | 100 – 1500 mm (okrogle) ali pravokotne |
| Debelina | 5 – 20 mm |
| Premer luknje | 0,3 – 1,5 mm |
| Vzorec lukenj | Po meri (trikotno, kvadratno, radialno) |
| Ploskost | ≤10 μm po celotni površini |
| Hrapavost površine | Ra ≤0,6 μm (plinska stran) |
| Razmerje odprte površine | 5–15 % |
Uporaba:
PECVD plošče za prho
Plinski injektorji ALD
Plošče za distribucijo plinov v jedkalni komori
Komponente reaktorja MOCVD
Proizvodnja:
Aluminijev substrat, gladko lepan → CNC vrtanje z diamantno prevlečenimi orodji (toleranca položaja luknje ±0,02 mm) → odstranjevanje robov → ultrazvočno čiščenje → Embalaža razreda 100.
Nadzor kakovosti:
Vsaka plošča je 100-odstotno pregledana glede velikosti luknje (sistem vida), ravnosti (laserski interferometer) in enakomernosti pretoka plina (kartiranje tlaka). Pod 20-kratno povečavo ni mikrorazpok.
Prednosti pred kovinskimi ploščami:
Brez kovinske kontaminacije v tankih filmih
Manjše nastajanje delcev (brez korozijskih lusk)
Odporen na agresivne čistilne plazme (CF₄, NF₃)
Funkcije po meri:
Plinski kanali na zadnji strani, izvrtane luknje, robna tesnila in različni razredi materialov (SiC za višjo toplotno prevodnost, prevleka Y₂O₃ za odpornost proti plazmi).
Pred proizvodnjo nudimo CAD verifikacijo in simulacijo pretoka.
