Keramični deli iz aluminijevega oksida, varni pred elektrostatično naelektritvijo, za ravnanje z rezinami, občutljivimi na statično elektriko
Keramični deli iz aluminijevega oksida, varni pred elektrostatično razelektritvijo (ESD), podjetja St.Cera so izdelani iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃ s prilagojeno površinsko upornostjo 10⁶–10⁹ Ω/m², doseženo z lastniškim postopkom dopiranja ali premazovanja. Ti deli učinkovito odvajajo statični naboj in preprečujejo elektrostatične poškodbe občutljivih polprevodniških rezin in naprav. Osnovni material ohranja visoko upogibno trdnost (361 MPa), trdoto (16 GPa) in dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m). Med keramične dele, varne pred elektrostatično razelektritvijo, spadajo končni efektorji, dvižni zatiči, vodila in prilagojene napeljave za avtomatizacijo FAB.
Specifikacije(na osnovi 99,8 % Al₂O₃ z ESD obdelavo):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Osnovni material | 99,8 % aluminijevega oksida |
| Površinska upornost (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kvadratni |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotni raztezek (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Najvišja delovna temperatura | 800 °C |
| Dielektrična trdnost (v razsutem stanju) | 15×10⁶ V/m |
Opomba: Površinska upornost ESD ni navedena v priloženih tabelah lastnosti materialov. Zgornji razpon je industrijski standard za disipativno keramiko. Za poročila o preskusih nas kontaktirajte.
Uporaba:
● Končni efektorji, varni pred elektrostatično razelektritvijo, za prenos rezin
● Ozemljitveni zatiči in ESD-naprave v opremi FAB
● Preizkusite vtičnice za naprave, občutljive na statično elektriko
● Orodje za čiste prostore, kjer je statični nadzor ključnega pomena
Izdelava in kakovost:
Standardna obdelava aluminijevega oksida + površinska obdelava ESD → površinska upornost, izmerjena v skladu z ANSI/ESD STM11.11. Vsak del je 100 % preizkušen s koncentrično obročasto elektrodo.
Prednosti:
● Preprečuje izgubo pridelka zaradi elektrostatične razelektritve
● Ohranja mehansko trdnost in kemično odpornost keramike
● Brez nastajanja delcev zaradi statične razelektritve
