Tesnilni obroč iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za tesnjenje visokotemperaturnih komor
Keramični tesnilni obroč St.Cera je zasnovan kot alternativa polimernim O-tesnilnim obročem v ekstremnih okoljih, kjer se elastomeri razgrajujejo. Ta togi tesnilni obroč, izdelan iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃), se uporablja v statičnih tesnilnih aplikacijah – običajno v kombinaciji z mehkim kovinskim ali grafitnim tesnilom – za zagotavljanje zanesljivega vakuuma ali zadrževanja plinov pri temperaturah do 800 °C in v agresivnih plazemskih ali kemičnih okoljih. Material ponuja ničelno sproščanje plinov, visoko tlačno trdnost (osnovna upogibna trdnost 361 MPa) in kemično inertnost (odporen na halogene, kisline in alkalije, razen HF). Natančno lepane tesnilne površine (ravnost ≤ 5 μm, hrapavost površine Ra ≤ 0,2 μm) zagotavljajo tesnilni stik s pripadajočimi kovinskimi ali keramičnimi komponentami.
Specifikacije(na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | 99,8 % aluminijevega oksida (slonokoščena barva) |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Absorpcija vode | 0% |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Tlačna trdnost (ocena) | >2000 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Toplotni raztezek (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Najvišja delovna temperatura | 800 °C (zrak), 1600 °C (inert) |
| Površinska obdelava (tesnilna površina) | Ra ≤0,2 μm (lepljeno) |
| Ploskost (na 25 mm) | ≤5 μm |
| Stopnja puščanja helija | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (z ustreznim tesnilom) |
Uporaba:
- · Statična tesnila za polprevodniške procesne komore (CVD, PVD, jedkanje)
- · Tesnila vrat peči za visoke temperature
- · Vakuumske prehodne prirobnice
- · Zaprtja kemijskih reaktorskih posod
Proizvodni proces:
Izostatično stiskanje → sintranje pri 1600 °C → natančno dvostransko lepanje za doseganje ultra ravnih, gladkih tesnilnih površin → posnemanje robov → ultrazvočno čiščenje. Vsak obroč je 100 % preizkušen na tesnjenje s helijevim detektorjem puščanja s standardnim kovinskim tesnilom.
Nadzor kakovosti:
- · Preverjanje dimenzij na KMS (notranji premer, zunanji premer, debelina, vzporednost)
- · Površinski profilometer za Ra in valovitost
- · Merjenje ravnosti z optično ravnostjo
- · Preizkus tesnjenja s helijem (metoda s povratnim tlakom)
Prednosti pred polimernimi O-tesnili:
- · Zdrži 800 °C proti <300 °C za FFKM
- · Brez odplinjevanja – brez onesnaženja vakuumskega okolja
- · Odporno na vse plazemske kemikalije (fluor, klor, kisik)
- · Brez kompresijske deformacije ali trajne deformacije
- · Neomejena življenjska doba v čistem okolju
Omejitve (kritične pripombe):
- · Ni O-obroč— gre za tog keramični obroč, ki za tesnjenje potrebuje mehko tesnilo (baker, aluminij ali grafit).
- · Ne omogoča dinamičnega gibanja ali velikega neporavnanega položaja prirobnice.
- · Višji začetni stroški kot pri polimernih O-tesnilnih obročih, vendar daljša življenjska doba znižuje stroške lastništva.
- · Krhko – ravnajte previdno; izogibajte se točkovnim udarcem ali upogibnim obremenitvam.
Opomba:Zgornji podatki strogo ustrezajo priloženi tabeli lastnosti Al₂O₃. Podatki za elastomerne materiale niso bili navedeni. Ta izdelek je statični tesnilni obroč, ne elastomerni O-obroč. Prosimo, potrdite, ali to ustreza vašim zahtevam uporabe.
