Robotska roka iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za ravnanje z rezinami
Robotska roka iz aluminijevega keramičnega oksida podjetja St.Cera je natančno izdelana iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃ (aluminijevega oksida). Združuje izjemno upogibno trdnost (361 MPa), visoko trdoto (16 GPa) in nizko gostoto (3,93 g/cm³), kar ima za posledico lahko, a togo roko za prenos polprevodniških rezin. Koeficient toplotnega raztezanja materiala (7,2 × 10⁻⁶/°C) se tesno ujema s silicijem, kar zmanjšuje toplotno neskladje med obdelavo.
Specifikacije (na podlagi 99,8 % Al₂O₃):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Barva | Slonokoščena |
| Gostota | 3,93 g/cm³ |
| Upogibna trdnost | 361 MPa |
| Trdota po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotna prevodnost | 32 W/m·k |
| Toplotno raztezanje | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrična trdnost | 15×10⁶ V/m |
Uporaba:
- Vakuumski roboti za prenos rezin (200 mm/300 mm)
- Sistemi za ravnanje z atmosfero
- Končne efektorje za avtomatizacijo FAB
Proizvodni proces:
Izostatično stiskanje → zelena obdelava → sintranje pri 1600 °C → CNC precizno brušenje → ultrazvočno čiščenje → Embalaža za čiste prostore razreda 100. Vsaka roka je 100 % pregledana s CMM glede ravnosti (±0,01 mm) in hrapavosti površine (Ra ≤0,4 μm).
Nadzor kakovosti:
St.Cera ima certifikat ISO 9001:2015. Izvajamo penetracijske teste za mikrorazpoke, tritočkovne upogibne teste za upogibno trdnost in dielektrične teste trdnosti v skladu s standardom ASTM D149.
Prednosti pred kovinskimi rokami:
- 50 % lažji od nerjavečega jekla
- Brez galvanske korozije
- Manjša tvorba delcev (≤0,05 delcev/cm²)
- Na voljo je premaz, varen pred elektrostatično razelektritvijo (10⁶–10⁹ Ω/m²)
Prilagoditev:
Dolžine od 150 mm do 450 mm, oblike konic (oprijem roba, Bernoulli, vakuum) in vzorci pritrdilnih prirobnic po načrtih proizvajalca originalne opreme. Prototipi v 2 tednih.
Za naročila v večjih količinah, prosimo, zahtevajte ponudbo.
