Keramični končni efektor iz silicijevega karbida (SiC) – visoka togost za ravnanje z rezinami pri visokih temperaturah
Keramični končni efektor St.Cera SiC je izdelan iz visoko čistega silicijevega karbida (vsebnost SiC 99,72 %, prosti Si 0,05 %) z uporabo materiala S1111. Ponuja izjemne mehanske lastnosti: upogibna trdnost 449 MPa (izmerjeno), elastični modul 457 GPa (izmerjeno) in trdota po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Nizka gostota (3,10–3,15 g/cm³, tipično) zagotavlja visoko specifično togost, idealno za robote za visokohitrostni prenos rezin. S toplotno prevodnostjo 120–150 W/m·K (tipično) in koeficientom toplotnega raztezanja 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično) ta končni efektor učinkovito odvaja toploto in ohranja dimenzijsko stabilnost med ravnanjem pri visokih temperaturah (do 1600–1700 °C, brez obremenitve). Črno-siva barva in ničelna absorpcija vode zagotavljata združljivost s čistimi prostori.
Specifikacije(na podlagi priloženega poročila o preskusu SiC S1111 in tipičnih vrednosti):
| Nepremičnina | Vrednost |
| Material | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % prostega Si) |
| Barva | Črna/Siva |
| Gostota | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorpcija vode | 0% |
| Upogibna trdnost | 449 MPa (povprečje) |
| Zlomna žilavost | 3,12 MPa·m¹/² (povprečje) |
| Elastični modul | 457 GPa |
| Trdota po Vickersu | 25–28 GPa |
| Toplotna prevodnost (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| KTR (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Najvišja temperatura uporabe (brez obremenitve) | 1600–1700 °C |
Uporaba:
● Ravnanje z rezinami pri visokih temperaturah (po žarjenju, RTP, epitaksija)
● Komore za plazemsko jedkanje, ki zahtevajo visoko odpornost proti eroziji
● Roboti za hiter prenos (lahki, visoka togost)
Proizvodnja:
Sintranje SiC prahu → precizno CNC brušenje profila roke in pritrdilnih elementov → površinsko lepanje → ultrazvočno čiščenje. 100 % dimenzijska kontrola in preizkus tesnosti s helijem za vakuumske aplikacije.
Nadzor kakovosti:
● Kontrola dolžine, širine in ravnosti s KMS
● Preskus upogibne trdnosti na serijo (po standardu poročila o preskusu)
● Vizualni pregled pod mikroskopom za odkrivanje površinskih napak
Prednosti pred aluminijevim oksidom ali kovino:
● 2× višji elastični modul (457 v primerjavi s ~380 GPa za aluminijev oksid) – manjši odklon
● 3× višja toplotna prevodnost – hitrejše odvajanje toplote
● Odpornost na temperature >1600 °C v primerjavi z 800 °C aluminijevega oksida na zraku
● Nižja gostota kot jeklo – 40 % manjša teža
Prilagoditev:
Dolžine 150–450 mm, oblike konic (robni oprijem, Bernoulli, ploščat), vzorci pritrdilnih prirobnic po risbi proizvajalca originalne opreme.
*Vsi zgornji mehanski podatki izvirajo iz priloženega poročila o preskusu (serija S1111). Toplotne vrednosti in vrednosti trdote so tipične za to vrsto SiC; za certificiranje, specifično za serijo, se obrnite na nas.*
