-
Robotska roka iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za ravnanje z rezinami
Robotska roka iz aluminijevega keramičnega oksida podjetja St.Cera je natančno izdelana iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃ (aluminijevega oksida). Združuje izjemno upogibno trdnost (361 MPa), visoko trdoto (16 GPa) in nizko gostoto (3,93 g/cm³), kar ima za posledico lahko, a togo roko za prenos polprevodniških rezin. Koeficient toplotnega raztezanja materiala (7,2 × 10⁻⁶/°C) se tesno ujema s silicijem, kar zmanjšuje toplotno neskladje med obdelavo.
-
Bernoullijev keramični končni efektor – brezkontaktno ravnanje s tankimi in krhkimi rezinami
Keramični končni efektor Bernoulli podjetja St.Cera uporablja aerodinamični vzgon za rokovanje z rezinami brez fizičnega stika. Izdelan je iz visoko čistega 99,8-odstotnega aluminijevega oksida (Al₂O₃) ali silicijevega karbida (SiC) in ima natančno obdelane šobe, ki izbrizgavajo stisnjen plin in ustvarijo tanek zračni film med končnim efektorjem in rezino. To načelo brez stika odpravlja kontaminacijo zadnje strani, krušenje robov in poškodbe površine, zaradi česar je idealen za tanke (≤100 μm), krhke ali ukrivljene rezine. Keramična podlaga zagotavlja visoko upogibno trdnost (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), majhno maso in odlično dimenzijsko stabilnost, kar zagotavlja ponovljivo pozicioniranje v robotih za prenos rezin z visoko hitrostjo.
-
Teflonsko prevlečen keramični končni efektor – nelepljiva površina za občutljivo ravnanje z rezinami
Keramični končni efektor St.Cera s teflonsko (PTFE) prevleko združuje visoko trdno aluminijevo podlago z enakomerno prevleko iz PTFE z nizkim trenjem (debelina 15–30 μm). Premaz zagotavlja izjemno nizek koeficient trenja (≤0,1), odlično kemično odpornost in nelepljive lastnosti, kar preprečuje oprijem rezin in odpravlja kontaminacijo hrbtne strani. Osnovni keramični substrat (99,8 % Al₂O₃) ponuja visoko upogibno trdnost (361–1000 MPa), odpornost proti obrabi in toplotno stabilnost do 260 °C (mejna vrednost prevleke). Ta končni efektor je idealen za ravnanje z občutljivimi, tankimi ali lepljivimi rezinami (npr. po fotorezistni prevleki ali kemičnih postopkih).
