-
Prilagojena obdelava keramične vpenjalne glave Al2O3
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojena keramična plošča za polprevodniško opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
12-palčna vakuumska vpenjalna glava iz aluminijevega oksida za obdelavo 300 mm rezin
12-palčna vakuumska vpenjalna glava St.Cera je natančno izdelana iz 99,8-odstotnega visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) za rokovanje s 300 mm rezinami. Vpenjalna glava ima fino rebrasto površino (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm), ki zagotavlja enakomerno porazdelitev vakuuma po celotnem premeru 300 mm. Ravnost se ohranja znotraj 5 μm, kar omogoča pritrditev rezin brez upogibanja med rezanjem, brušenjem zadnje strani in pregledovanjem. Visoka upogibna trdnost (361 MPa) in trdota (16 GPa) materiala zagotavljata dolgoročno dimenzijsko stabilnost tudi pri ponavljajočih se vakuumskih ciklih.
-
Keramični rezervni deli za polprevodniško sondno opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Nosilec polprevodniške opreme s keramično ploščo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Keramični rezervni deli za polprevodniško opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Tesnilni obroč iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za tesnjenje visokotemperaturnih komor
Keramični tesnilni obroč St.Cera je zasnovan kot alternativa polimernim O-tesnilnim obročem v ekstremnih okoljih, kjer se elastomeri razgrajujejo. Ta togi tesnilni obroč, izdelan iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃), se uporablja v statičnih tesnilnih aplikacijah – običajno v kombinaciji z mehkim kovinskim ali grafitnim tesnilom – za zagotavljanje zanesljivega vakuuma ali zadrževanja plinov pri temperaturah do 800 °C in v agresivnih plazemskih ali kemičnih okoljih. Material ponuja ničelno sproščanje plinov, visoko tlačno trdnost (osnovna upogibna trdnost 361 MPa) in kemično inertnost (odporen na halogene, kisline in alkalije, razen HF). Natančno lepane tesnilne površine (ravnost ≤ 5 μm, hrapavost površine Ra ≤ 0,2 μm) zagotavljajo tesnilni stik s pripadajočimi kovinskimi ali keramičnimi komponentami.
-
Fokusni obroč iz visoko čistega aluminijevega oksida za sisteme plazemskega jedkanja in CVD
Fokusni obroč v komori podjetja St.Cera je ključna komponenta procesnega kompleta, ki se uporablja v polprevodniški opremi za plazemsko jedkanje, CVD in PVD. Obroč, izdelan iz 99,8-odstotnega aluminijevega oksida visoke čistosti (Al₂O₃), obdaja rob rezine, da omeji plazmo in optimizira kotno porazdelitev ionov, s čimer izboljša enakomernost jedkanja po površini rezine. Material ponuja izjemno plazemsko odpornost, visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m) in toplotno stabilnost do 1600 °C, kar zagotavlja dolgoročno zanesljivost v agresivnih plazemskih okoljih na osnovi fluora ali klora. Natančno brušen notranji/zunanji premer in ravnost (≤10 μm) omogočata natančno pozicioniranje robov rezine, kar zmanjšuje napake na robovih in nastajanje delcev.
-
Visoko čist keramični obroč iz aluminijevega oksida za procesne komore CVD/PVD
Keramični obroč St.Cera je posebej zasnovan za uporabo v procesnih komorah CVD (kemično nanašanje iz pare) in PVD (fizično nanašanje iz pare). Izdelan je iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) in služi kot obloga komore, fokusni obroč ali komponenta procesnega kompleta za omejevanje plazme in zaščito sten komore pred erozijo. Material ponuja odlično odpornost na plazmo, visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m) in toplotno stabilnost do 1600 °C, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo v agresivnih plazemskih okoljih na osnovi fluora. Natančne dimenzijske tolerance (±0,05 mm na notranjem/zunanjem premeru) in ravnost (≤10 μm) omogočajo dosledno pozicioniranje robov rezine, kar izboljšuje enakomernost nanašanja in zmanjšuje nastajanje delcev.
-
Porozna keramična vakuumska vpenjalna glava za ravnanje z ukrivljenimi rezinami
Porozna keramična vpenjalna glava St.Cera je izdelana iz visoko čistega aluminijevega oksida z enakomerno odprto poroznostjo 30–45 % in velikostjo por od 10 do 100 μm. Za razliko od običajnih vpenjalnih glav z utori porozna površina zagotavlja porazdeljen vakuum po celotni zadnji strani rezine in učinkovito drži ukrivljene, tanke ali posamezne rezine brez dvigovanja robov ali lomljenja. Nežen vakuum (nastavljiv z omejevalnikom) preprečuje tudi označevanje zadnje strani.
-
Vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike na osnovi aluminijevega oksida za ravnanje s tankimi rezinami
Porozna vpenjalna glava St.Cera na osnovi aluminijevega oksida je izdelana iz 99,6 % visoko čistega Al₂O₃ z nadzorovano odprto poroznostjo 30–45 % in enakomerno velikostjo por od 10 do 50 μm. Za razliko od vpenjalnih glav z utori porozna površina zagotavlja porazdeljen vakuum po celotni zadnji strani rezine, kar odpravlja označevanje robov in omogoča nežno držanje ultra tankih (≤100 μm) ali ukrivljenih rezin. Material ponuja upogibno trdnost ≥250 MPa in toplotno stabilnost do 400 °C na zraku.
-
Razdelilna plošča iz aluminijevega oksida za tuš CVD/PVD
Plošča za distribucijo plina (pršna glava) podjetja St.Cera je natančno izdelana iz visoko čiste 99,8-odstotne aluminijeve keramike. Ima vrsto mikro lukenj (premerov 0,3–1,5 mm), ki zagotavljajo enakomeren pretok plina po površini rezine med postopki CVD, PVD ali ALD. Visoka dielektrična trdnost plošče (>15×10⁶ V/m) in plazemska odpornost jo naredita bistvenega pomena za nanašanje tankih polprevodniških filmov.
